TiAlN/AlON纳米多层涂层的微观结构和力学性能研究

• 作者: 刘平 刘新宽 李伟 杨丽红 王均涛 马凤仓
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlN/AlON纳米多层涂层 超硬效应 非晶晶化 共格外延生长 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 72-77
• 分类号: TG115
• 字数: 4558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2012.04.072

摘要

通过磁控溅射制取一系列不同AlON厚度的TiAlN/AlON纳米多层涂层,并用X射线衍射、扫描电镜、高分辨透射电镜和纳米压痕仪分别对微观结构和力学性能进行表征和测量.研究表明:非晶态的AlON在厚度约小于1 nm时,在TiAlN模板作用下转变为晶体结构,并与TiAlN呈共格外延生长,出现超硬效应,当AlON厚度为0.7 nm时,硬度和弹性模量分别最高可达38.1 GPa和385.6 GPa.当AlON厚度超过1nm时,逐渐转变为非晶结构并且破坏了多层涂层的共格外延生长,硬度随之降低.因此利用这种机制可以制备出力学性能好、耐高温氧化性的刀具涂层,满足现代切削的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘平	上海理工大学机械工程学院	212	1078	16.0	22.0
2	杨丽红	上海理工大学机械工程学院	61	267	9.0	14.0
3	李伟	上海理工大学材料科学与工程学院	131	544	12.0	19.0
4	马凤仓	上海理工大学材料科学与工程学院	109	494	12.0	18.0
5	刘新宽	上海理工大学材料科学与工程学院	137	518	12.0	18.0
6	王均涛	上海理工大学机械工程学院	5	69	4.0	5.0