TiAlN／SiO2纳米多层刀具涂层的微观结构和超硬效应研究

• 作者: 刘平 刘新宽 李伟 杨丽红 王均涛 马凤仓
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超硬效应 TiAlN/SiO。纳米多层涂层 共格外延生长 非晶晶化
• 年，卷（期）: 2011,（22）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 2757-2761
• 分类号: TG115
• 语种: 中文

摘要

通过磁控溅射方法制取了一系列不同SiO2厚度的TiAlN／SiO2纳米多层涂层，并用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、高分辨透射电镜（HRTEM）和纳米压痕仪分别对该涂层的微观结构和力学性能进行了表征和测量。研究表明：当非晶态的SiO2厚度约小于1nm时，SiO2在TiAlN模板作用下转变为晶体结构，并与TiAlN呈共格外延生长，出现超硬效应；当SiO2厚度为0．6nm时，其硬度和弹性模量分别高达37GPa和393GPa；当SiO2厚度超过lnm时，SiO2逐渐转变为非晶结构并且破坏了多层涂层的共格外延生长，硬度随之降低。因此，可以利用该方法制备出机械性能好且耐高温氧化性的刀具涂层，以满足现代切削的需要。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘平		212	1078	16.0	22.0
2	杨丽红		61	267	9.0	14.0
3	李伟		131	544	12.0	19.0
4	马凤仓		109	494	12.0	18.0
5	刘新宽		137	518	12.0	18.0
6	王均涛		5	69	4.0	5.0