微重力传感器中光学薄膜的有限元应变分析

• 作者: 荆冬平 陆永华
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 有限元 微重力 灵敏度
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 页码范围: 1702-1705,1710
• 页数: 5页
• 分类号: TP272
• 语种: 中文

摘要

光学薄膜表面对微重力的敏感性是微重力光学传感器设计的关键问题。本文中研究了薄膜反射面斜率与微重力之间的变化关系,通过正交试验设计,分析了光学薄膜的材料、半径、厚度与薄膜反射面斜率之间的关系;并结合实验结果对圆薄膜在集中力作用下表面斜率公式进行了修正。通过理论计算以及ANSYS有限元分析发现：薄膜反射面斜率与微重力之间有良好的线性关系;薄膜的微重力敏感性随薄膜半径增大而增大;且随着薄膜厚度和弹性模量的减小而提高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆永华		55	340	10.0	15.0
2	荆冬平		1	0	0.0	0.0