用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析

• 作者: 冯婕 邓超 邢廷文
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 全息术 非球面检测 计算全息图 光学设计 误差分析
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 全息
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: O438.12|TB96
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP49.110902

摘要

为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图.多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成.介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣,并给出了检测Φ187.72 mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例,分析了影响全息检测精度的各项误差源,计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.75 nm,实现了非球面元件面形的高精度检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢廷文	中国科学院光电技术研究所	67	501	11.0	17.0
2	邓超	中国科学院光电技术研究所	16	109	5.0	10.0
3	冯婕	中国科学院光电技术研究所	10	69	4.0	8.0