硅片自动上下料设备的研制

• 作者: 廖鑫 李安华 苗俊芳
• 来源期刊: 物流工程与管理
• 学科: 社会科学
• 关键词: 硅片 上料 下料
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 设备设施
• 页码范围: 123-124,126
• 分类号: G356.9
• 字数: 2307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4993.2012.06.053

摘要

通过分析太阳能电池制造过程中硅片的上料和下料方式的现状,提出自动上下料设备研制的必要,介绍了全自动硅片上下料设备的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括自动换蓝组件、装片组件、缓存组件、传动系统、电气控制系统和设备主体等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖鑫	中国电子科技集团公司第二研究所	3	14	2.0	3.0
2	苗俊芳	中国电子科技集团公司第二研究所	7	16	3.0	3.0
3	李安华	中国电子科技集团公司第二研究所	4	9	2.0	3.0