半导体材料将走向“纳米化”

• 作者: 王占国
• 来源期刊: 科学中国人
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 纳米化 硅晶片 生产线 集成度 砷化镓 第二代 磷化铟
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 页码范围: 57-57
• 页数: 1页
• 分类号: TN304

摘要

到2015年，我国将拥有多条45—90纳米的8英寸、12英寸生产线。2022年进入国际前列。不过随着集成度提高，硅晶片会遇到很多困难．例如芯片功耗急剧增加，极有可能将硅片融掉。以砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP）等为代表的第二代半导体材料不断向硅提出挑战。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占国		101	701	15.0	23.0