氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响

• 作者: 刘望 安竹 朱敬军 汪渊 邬琦琦 陈顺礼
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: Cu/W 纳米多层膜 氦泡 界面稳定性
• 年，卷（期）: 2012,（17）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 417-422
• 分类号: TG111.4
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射方法，分别在纯Ar和ALHe混合气氛下制备了多个不同调制周期的CtffW纳米多层膜．利用增强质子背散射（EPBS）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）分别对Cu／W多层膜中He含量、截面形貌和相结构进行了分析．结果表明：多层膜的界面稳定性是耐氦损伤的前提和保证．在适当的调制周期下，纳米多层膜能有抑制氦泡成核及长大的能力．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安竹	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	24	49	4.0	6.0
2	邬琦琦	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	4	4	1.0	1.0
3	朱敬军	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	10	5	1.0	1.0
4	汪渊	四川大学原子核科学技术研究所	11	9	1.0	2.0
5	陈顺礼	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	9	6	1.0	2.0
6	刘望	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	2	2	1.0	1.0