高危险性电子工业用气体检测新技术研究

• 作者: 张凤利
• 来源期刊: 化学工程师
• 学科: 化学
• 关键词: 高危险性 前处理装置 硅烷 检测新方法
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: O657.99
• 字数: 2814字
• 语种: 中文

摘要

本项目的核心是设计一套可将气体中具有危险性的主组分过滤、杂质组分气体直接进入色谱检测的预处理系统,从而建立了一种快速、安全、简便地检测易燃、易爆和有毒类电子用工业气体纯度的新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张凤利		8	31	2.0	5.0