支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

• 作者: 王平 王汝冬 王立朋 田伟
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 光刻投影物镜 波前畸变 应力双折射 融石英 元件支撑
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 57-63
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TN305.7
• 字数: 2993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20130601.0057

摘要

为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响.首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型.然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系.最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构.研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少；采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	33	217	9.0	14.0
2	王平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	192	2203	24.0	40.0
3	王汝冬	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	23	3.0	4.0
4	王立朋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	11	39	4.0	6.0