退火参数对熔石英透射波前和损伤阈值的影响

• 作者: 向霞 吕海兵 戴威 李熙斌 王海军 祖小涛 蒋勇 袁晓东 贺少勃 郑万国 黄进
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 熔石英 残余应力 热退火 损伤阈值 透射波前
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2396-2400
• 分类号: O434.14
• 字数: 3275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112309.2396

摘要

采用高温退火技术去除熔石英元件表面由于CO2激光修复带来的残余应力,研究了退火环境对元件的表面污染,分析了不同退火温度(600～900℃)和保温时间(3～10 h)对于元件残余应力、透射波前、表面粗糙度和激光损伤阈值的影响.结果表明:在800℃以下,高温退火10 h可有效去除CO2激光修复带来的残余应力,对元件的透射波前和表面粗糙度无明显影响；石英保护盒能有效减少退火环境对元件表面产生的污染,但仍有X射线光电子能谱检测不到的表面污染物存在；在退火后采用质量分数为1％的HF刻蚀15 min,激光损伤阈值可恢复,同时元件透射波前和表面粗糙度并无明显的增加.