退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响

• 作者: 田光磊 贺洪波 邵建达 黄建兵
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 退火 ZrO2薄膜 激光损伤阈值 X射线衍射 弱吸收
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 217-221
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2932字
• 语种: 中文

摘要

利用电子束蒸发方法在Yb:YAG晶体和熔融石英衬底上沉积单层ZrO2薄膜,分别在673 K和1 073 K的温度下经过12 h退火以后,通过X射线衍射(XRD)分析了薄膜晶相,计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收;测量了退火后薄膜的激光损伤阈值.实验结果表明:两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响,高温退火有利于单斜相的形成,含单斜相的ZrO2薄膜具有较高的激光损伤阈值,而由于衬底的吸收,Yb:YAG晶体上薄膜的损伤阈值远小于石英衬底上薄膜的损伤阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田光磊		1	6	1.0	1.0
2	黄建兵		1	6	1.0	1.0
3	贺洪波		1	6	1.0	1.0
4	邵建达		1	6	1.0	1.0