氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响

• 作者: 张东平 范树海 范正修 赵元安 邵建达 高卫东
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ZrO2薄膜 氧分压 激光损伤阈值 电子束热蒸发
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3095字
• 语种: 中文

摘要

在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了ZrO2薄膜.分别通过X射线衍射、光学光谱、热透镜技术、抗激光辐照等测试,对所制备样品的微结构、折射率、吸收率及激光损伤阈值进行了测量.实验结果表明,薄膜中晶粒主要是四方相为主的多晶结构,并且随着氧分压的增加,结晶度、折射率以及弱吸收均逐渐降低.薄膜的激光损伤阈值开始随着氧分压增加从18.5 J/cm2逐渐增加,氧分压为9×10-3Pa时达到最大,值为26.7 J/cm2,氧分压再增加时则又降低到17.5 J/cm2.由此可见,氧分压引起的薄膜微结构变化是ZrO2薄膜激光损伤阈值变化的主要原因.