ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究

• 作者: 刘安平 罗庆春 韩伟峰 黄茂
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZrO2薄膜 电子束蒸发 氧分压 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 333-336,346
• 分类号: TB43
• 字数: 3742字
• 语种: 中文

摘要

通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响,对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主,而转动沉积时形成具有较高激光损伤阈值的单斜相结构.薄膜晶粒尺寸和粗糙度均随氧压的升高而减小,四方相受氧压影响变化明显高于单斜相,氧压的继续升高使多晶形态向非晶形态逐渐转变.多晶结构的损伤阈值随着晶粒尺寸的减小而增高,薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高略有增加,且多晶结构的损伤阈值明显要高于非晶结构,ZrO2薄膜损伤阈值(E)与粗糙度(σ)基本符合关系:Eσα=β(α=1.41, β=2.25).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘安平	重庆大学应用物理系	17	40	4.0	5.0
2	韩伟峰		4	15	3.0	3.0
3	罗庆春		4	16	3.0	4.0
4	黄茂		5	17	3.0	3.0