快速成长的上海半导体设备材料产业

• 作者: 王龙兴
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 设备 材料
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 市场分析
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN409
• 字数: 2402字
• 语种: 中文

摘要

我国政府对发展集成电路产业的大力支持和业界共同努力,推动IC技术水平快速提升,形成了强有力的技术创新体系,积极向世界先进技术水平靠拢.近10年来,上海半导体设备制造业从小到大,蓬勃发展.IC晶圆制造设备、封装测试设备和半导体材料加工设备等研发和产业化都取得了突破性的的进展.随着上海IC产业的快速发展,许多半导体材料企业应运而生,茁壮成长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王龙兴		37	226	9.0	11.0