材料专业仪器介绍

• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器介绍 材料专业 环境扫描电镜 含水样品 绝缘材料 ESEM 动态试验 原位分析
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 85-85
• 页数: 1页
• 分类号: TB3-4

摘要

VersaTM3D DualBeam是FEI的最新DualBeam仪器Versa3D是一个高度可选配的平台，客户可根据自己的需求来选系统功能的配置。高真空版是常规导电或镀膜样品的理想之选。与之不同，高低真空版可以灵活工作于包括非镀膜、绝缘材料等众多样品。选配的环境扫描电镜ESEM模式可做非镀膜、绝缘体或自然含水样品的电子束成像，并支持原位分析和动态试验。