金刚石线锯切割氮化硅的实验研究

• 作者: 孙玉利 左敦稳 张梦骏 曹连静 李瑞
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线锯 氮化硅 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 5-11
• 分类号: TG74|TQ164
• 语种: 中文

摘要

采用往复式金刚石线锯对氮化硅进行了切割工艺实验研究,分析了线锯切割速度、进给速度和张紧压力对氮化硅表面粗糙度的影响,对试样表面进给方向和切割线方向的表面粗糙度变化趋势均进行了考察.结果显示:磨粒切削深度随线速度增大而减小,随进给速度和张紧压力的增大而增大.获得的较优的工艺参数为切割线速度1.5 m/s,进给速度0.08 mm/min,张紧压力0.18 MPa,探讨了线锯的磨损形式以及线锯磨损对试样加工表面粗糙度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	曹连静	南京航空航天大学机电学院	6	44	3.0	6.0
3	孙玉利	南京航空航天大学机电学院	68	394	12.0	16.0
4	李瑞	南京航空航天大学机电学院	6	25	3.0	5.0
5	张梦骏	南京航空航天大学机电学院	2	21	2.0	2.0