SiC单晶线锯切片及电镀锯丝制造技术的研究进展

• 作者: 刘全斌 毕文波 葛培琪 高玉飞
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: SiC单晶 线锯切割 表面质量 金刚石锯丝
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 国家青年/地区科学基金项目专栏
• 页码范围: 501-506
• 页数: 6页
• 分类号: TH161.1|TQ153
• 字数: 5749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbkd.2013yx06002

摘要

针对碳化硅(SiC)单晶硬度高、脆性大,金刚石线锯切片时工具磨损快、切割效率低、晶片表面亚表面易出现微破碎损伤,使SiC单晶高质量切片和高性能锯丝制造技术成为关键和难点的状况,综述了SiC单晶线锯切片及电镀金刚石锯丝制造技术的研究现状,对其中存在的问题进行了概括与分析,并提出了SiC单晶金刚石线锯切片技术的未来研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛培琪	山东大学机械工程学院	122	1523	21.0	33.0
5	高玉飞	山东大学机械工程学院	27	232	9.0	14.0
6	毕文波	山东大学机械工程学院	27	114	7.0	10.0
7	刘全斌		1	4	1.0	1.0