横向超声辅助线锯振动切割单晶SiC法向锯切力研究

• 作者: 李伦 李济顺 李艳军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SiC 横向超声激励 金刚石线锯 振动切割 法向锯切力
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 页码范围: 3730-3736,3741
• 页数: 8页
• 分类号: TQ127.7|TG74+9
• 字数: 4927字
• 语种: 中文

摘要

锯切力是线锯切割加工中极其重要的参数,它不仅影响切割效率和晶片的表面质量,而且还严重影响晶片的亚表面损伤程度和线锯的寿命.本文将横向超声振动应用于金刚石线锯切割单晶SiC过程中并对受迫振动线锯的法向锯切力进行理论分析和研究.基于轴向运动弦线受迫振动模型,求解出在两种不同位置超声激励下线锯中间切割点横向振动位移的函数表达式;依据冲量定理和磨削理论,建立了横向超声辅助金刚石线锯的法向锯切力模型并推导出横向受迫振动线锯锯切单晶SiC法向锯切力的预测公式.对单晶SiC进行横向超声辅助线锯振动切割和普通线锯切割对比实验并分析横向超声振动和加工参数对线锯法向锯切力的影响,结果表明相同实验条件下,横向超声振动切割比普通线锯切割法向锯切力减小25％ ～35％.理论预测与实验结果具有较好一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李济顺	河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室	214	1385	20.0	26.0
2	李伦	河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室	17	76	6.0	8.0
3	李艳军	河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室	2	5	2.0	2.0