超声辅助线锯切割SiC单晶实验研究

• 作者: 李淑娟 李言 王肖烨 袁启龙 郑建明
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiC单晶 超声辅助线锯切割 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 1076-1081
• 页数: 6页
• 分类号: O78
• 字数: 3834字
• 语种: 中文

摘要

针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC.通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声辅助切割单晶SiC,锯切力减小37％～52％,且减小趋势随工件进给速度的增大更明显；切片表面粗糙度降幅约为26％～55％,晶片表面形貌均匀,无划痕,明显优于普通切割方法所获得的表面；线锯磨损降低约近40％；切割效率提高近56％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	361	3453	31.0	39.0
2	郑建明	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	77	705	16.0	21.0
3	李淑娟	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	137	1091	18.0	27.0
4	袁启龙	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	80	731	16.0	22.0
5	王肖烨	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	16	65	4.0	7.0