金刚石线切割单晶碳化硅锯切力的实验研究

• 作者: 张玉兴 徐西鹏 黄辉
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线锯 单晶SiC 锯切力 单位长度线锯材料去除量 比能
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 6-9,14
• 分类号: TQ164|TG74
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.1.0002

摘要

从锯切力的角度对金刚石线锯锯切单晶SiC材料的加工过程进行了研究.得出了线速度、进给速度、线锯张紧力对锯切力的影响规律.从单位长度线锯材料去除量、锯切比能的角度讨论了锯切工艺对锯切力的影响机理.在金刚石线锯锯切单晶SiC过程中,锯切力随着线速度的增大而减小,随着进给速度的增大而增大,线速度与进给速度对锯切力的综合影响表现为:单位长度线锯材料去除量的增加会增大锯切力.单位长度线锯材料去除量对于金刚石线锯锯切单晶SiC材料的锯切比能具有显著的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐西鹏	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	186	1660	20.0	28.0
2	黄辉	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	92	796	17.0	23.0
3	张玉兴	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	1	6	1.0	1.0