一种低成本微定位平台的设计与仿真

• 作者: 卢清华 吴志伟 张宪民 范彦斌
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微定位平台 低成本 高精度 差式杠杆机构
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 585-588,609
• 页数: 5页
• 分类号: TH122
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2013.05.004

摘要

对半导体及微纳制造等领域对微定位系统低成本高精度的要求,根据以宏观的输入获得微观的输出、低精度驱动器输入获得高精度输出的设计思想,设计了一种基于柔性铰链差式杠杆机构的低成本微定位平台.在该平台中,通过设计位移缩放机构,将驱动器的宏观输入位移进行比例缩小,实现平台的微观输出,降低微定位平台的成本.分析了微定位平台的刚度,并根据该平台定位机构所受载荷的不同,设计了两种不同的柔性铰链.在此基础上,建立了该平台的有限元分析模型,采用ANSYS对该平台的应力进行了分析,并对该平台的输出位移进行了仿真.仿真结果证明了该微定位平台的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宪民		193	2458	25.0	40.0
2	范彦斌		53	224	8.0	12.0
3	卢清华		44	158	7.0	10.0
4	吴志伟		2	67	2.0	2.0