多孔复合微结构的制备与减反射性能

• 作者: 吕红杰 岳之浩 沈鸿烈 王威
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔-金字塔 多层多孔-金字塔 复合微结构 反射率
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 147-151
• 页数: 5页
• 分类号: TK514
• 字数: 3500字
• 语种: 中文

摘要

主要研究了多孔-金字塔和多层多孔-金字塔两种多孔复合微结构的减反射性能.多孔-金字塔是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/Fe(NO3)3溶液中二次化学腐蚀得到的,而多层多孔-金字塔复合微结构是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/CH3CH2OH溶液中二次电化学腐蚀得到的.用扫面电镜和UV-vis-NIR分光光度计分别分析了这两种复合结构的表面形貌和反射率.结果表明,在400～800 nm波长范围内,多孔-金字塔和多层多孔-金字塔复合微结构的平均反射率分别为5％和2.1％.多孔-金字塔微结构表面的孔洞较大,表面的金字塔有少量的塌陷,但多层多孔-金字塔微结构表面的孔洞细小且覆盖均匀,表面的金字塔基本上保持完好.通过比较,电化学方法制备的多层多孔-金字塔复合微结构的减反射效果要优于采用化学腐蚀制备的多孔-金字塔复合微结构的减反射效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈鸿烈	南京航空航天大学材料科学与技术学院	93	264	9.0	10.0
5	王威	南京航空航天大学材料科学与技术学院	23	52	4.0	5.0
6	吕红杰	南京航空航天大学材料科学与技术学院	3	12	2.0	3.0
7	岳之浩	南京航空航天大学材料科学与技术学院	8	19	3.0	3.0