金刚石在太赫兹电真空器件中的应用

• 作者: 丁明清 冯进军 刘京恺 唐烨 李莉莉 杜英华 胡银富 蔡军
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 输能窗
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 350-354
• 页数: 5页
• 分类号: TN104
• 字数: 3307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201303.0350

摘要

金刚石材料具有低的介电常数、小的微波损耗、良好的导热性能，成为太赫兹电真空器件发展过程中非常有研究价值和应用价值的材料。它可以作为输能窗的介质窗片和高频结构的介质支撑材料。本文介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石材料在太赫兹电真空器件中的具体应用实例，以及在 W 波段行波管中的实际应用情况，包括 MPCVD 金刚石的制备过程，及其与金属材料的封接工艺。研制出的 W波段金刚石窗冷测结果显示其在75 GHz~110 GHz频段内性能良好：驻波系数(VSWR)≤1.5，传输损耗≤0.5 dB。这种窗已经成功用于 W波段折叠波导连续波与脉冲行波管中。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡军		14	77	5.0	8.0
2	胡银富		4	30	3.0	4.0
3	杜英华		3	8	2.0	2.0
4	唐烨		4	27	3.0	4.0
5	丁明清		2	9	2.0	2.0
6	李莉莉		1	3	1.0	1.0
7	刘京恺		2	20	2.0	2.0