晶圆测试平台构建概述

• 作者: 陆坚 陆晔
• 来源期刊: 高性能计算技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆测试 自动测试设备(ATE) 探针卡 规范
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 高性能计算应用分析
• 页码范围: 64-68
• 页数: 5页
• 分类号: TP311
• 语种: 中文

摘要

国内晶圆测试能力远不能满足IC设计业的需求,亟需立足本土,自主开展晶圆测试.本文以国内某实验室建立的高端晶圆测试平台为实例,对晶圆测试平台的构建作了概述,包括工作原理与平台构成、软硬件开发,重点阐述了探针卡开发、测试环境与规范的建立这两项关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆坚		4	0	0.0	0.0
2	陆晔		5	1	1.0	1.0