故障树分析法在RIE故障诊断中的应用

• 作者: 马培圣
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 反应离子刻蚀 等离子 故障树 自动压力控制 自动匹配网络
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 设备维护与维修
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1006字
• 语种: 中文

摘要

基于半导体刻蚀技术,对RIE(反应离子刻蚀)的技术原理和等离子启辉原理进行了阐述,概括介绍了故障树分析法,绘制了启辉故障的故障树,分析了造成该故障的各种原因,并根据维修经验介绍了APC(自动压力控制)故障和AMU(自动匹配网络)故障等一些典型因素的处理方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马培圣	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	0	0.0	0.0