离子束刻蚀设备中离子源故障诊断和维修

• 作者: 赵建恒
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子源 离子束刻蚀 故障诊断 考夫曼 PBN中和器
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 设备维护与维修
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1977字
• 语种: 中文

摘要

介绍了离子束加工技术在半导体工艺中的应用以及离子束刻蚀机的真空和控制系统、Veeco直流栅极离子源及其电源MPS-5001的结构和工作原理、PBN中和器的原理和作用.介绍了离子源电源参数的调整技巧及需要注意的问题,在此基础上给出了离子源常见故障现象的原因及解决办法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵建恒	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0