硅棒特征点三维坐标视觉检测技术研究

• 作者: 侯宏录 王敏
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 三维坐标 多目视觉 双目交汇 硅棒 特征点
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TP274.2
• 字数: 3872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2013.02.001

摘要

针对人工接触式硅棒参数检测中存在的耗时、低效、误检等问题,提出一种采用四CCD机器视觉系统作为硅棒参数实时检测的非接触式测量方案.系统基于多目视觉检测原理,以四CCD多目视觉检系统作为机器视觉检测前端数据采集模块,拍摄待测硅棒表面轮廓图像信息.相邻两CCD构成正交双目交汇数据采集子模块,子模块基于正交双目交汇测量原理实时采集两路含有目标空间信息的数字图像数据并保存到上位机.上位机图像处理系统读取采集图像,完成多目相机标定,特征点提取、同名点匹配以及视差计算后提取出目标特征点三维坐标.该检测技术有效避免了人工主观因素造成的漏检、错检,满足实时在线检测要求,实现了硅棒特征点空间三维坐标高精度检测的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯宏录	西安工业大学光电工程学院	72	466	11.0	18.0
2	王敏	西安工业大学光电工程学院	3	6	1.0	2.0