基于电铸技术制造精密金属微器件

• 作者: 余斌 张冰冰 郝光亮
• 来源期刊: 机械管理开发
• 学科: 工学
• 关键词: 金属微器件 电铸 工艺流程 质量评价
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 61
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1466字
• 语种: 中文

摘要

鉴于电铸技术在实现精密金属微结构/器件方面所展现出的独特优越性,依托其为主要工艺手段,以制造微十字和微圆柱两种不同尺度的精细金属微器件为目标,开展试验研究,并借助扫描电镜对所得微器件的形貌质量进行评价.结果表明:基于电铸技术能制造出良好形貌且具备较高廓形精度的金属微器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝光亮		3	0	0.0	0.0
2	张冰冰		5	0	0.0	0.0