AZO超高致密度化工艺研究

• 作者: 童义平 赖秀红 黄秀娟
• 来源期刊: 中国陶瓷工业
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌铝 靶材 AZO 透明导电薄膜 致密化
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 2861字
• 语种: 中文

摘要

以ZnO和Al2O3为原料,采用冷压成型-高温烧结致密的方法制备超高致密度的AZO靶材.通过实验优化得到的最佳制备AZO靶材的工艺参数是:WAl2O3为2％、锻压压力11MPa、高温烧结温度1200℃,烧结时间5小时,按此条件,制备的AZO靶材相对密度最大(96.63％).其次是:WAl2O3为4％、锻压压力13MPa、高温烧结温度1300℃、烧结时间2小时,得到的AZO靶材相对密度96.04％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	童义平	惠州学院化工系	26	46	3.0	6.0
2	赖秀红	惠州学院化工系	1	0	0.0	0.0
3	黄秀娟	惠州学院化工系	1	0	0.0	0.0