Ti掺杂ZnO纳米薄膜的微结构/生长取向程度及其光致发光特性研究

• 作者: 刘静 张小雷 李发明 赵强 马书懿
• 来源期刊: 西北师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Ti掺杂ZnO薄膜 射频反应磁控溅射 X射线衍射 光致发光
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 34-39
• 页数: 6页
• 分类号: TB383|O484.4
• 字数: 4599字
• 语种: 中文

摘要

采用射频(RF)反应磁控溅射技术在Si衬底上分别制备了具有(100)方向生长的ZnO薄膜和Ti掺杂ZnO薄膜(ZnO∶Ti).利用X射线衍射(XRD)和光致荧光发光(PL)表征技术,研究了不同Ti掺杂浓度对ZnO薄膜微观结构和光学性能的影响.结果显示,Ti掺杂前后ZnO薄膜都具有六角纤锌矿结构,同时均表现出沿(100)方向的择优生长特性；掺入2％ Ti元素后薄膜的织构系数T(100)明显增加,表明Ti的掺入对ZnO薄膜的结晶取向程度有一定影响.与未掺杂的ZnO薄膜相比,ZnO∶ Ti薄膜的衍射峰发生宽化且峰强减小,薄膜的结晶质量下降.改变Ti的掺杂量,发现Si衬底上制备的薄膜发光强度和发光峰位随掺杂浓度发生相应的改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马书懿	甘肃省原子分子与功能材料重点实验室西北师范大学物理与电子工程学院	2	6	2.0	2.0
2	刘静	甘肃省原子分子与功能材料重点实验室西北师范大学物理与电子工程学院	1	2	1.0	1.0
3	赵强	甘肃省原子分子与功能材料重点实验室西北师范大学物理与电子工程学院	1	2	1.0	1.0
4	张小雷	甘肃省原子分子与功能材料重点实验室西北师范大学物理与电子工程学院	1	2	1.0	1.0
5	李发明	甘肃省原子分子与功能材料重点实验室西北师范大学物理与电子工程学院	1	2	1.0	1.0