焦平面阵列反光板的优化设计与制作

• 作者: 史海涛 张青川 欧毅 毛亮 程腾 陈大鹏
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 成像系统 焦平面阵列 非制冷红外成像 薄膜 微梁
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 61-68
• 页数: 8页
• 分类号: O438.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201333.0111001

摘要

光学读出红外热成像系统中,焦平面阵列(FPA)反光板的初始弯曲降低了系统的光学检测灵敏度.针对FPA的设计制作,提出了两种降低其反光板初始弯曲的优化设计方案:减薄反光板上金层厚度和制作带加强筋的反光板.在理论分析的基础上,设计制作了单元尺寸为200 μm的反光板金层减薄FPA,其反光板曲率半径提高至原来金层未减薄FPA的4.71倍,系统光学检测灵敏度提高了5.2倍;单元尺寸为60 μm的反光板带加强筋FPA,其反光板曲率半径提高至原来没有加强筋FPA的4.29倍,系统光学检测灵敏度提高了1.18倍.实验验证了理论分析的结果.