基于纳米压印技术制作的线偏振蓝光LED

• 作者: 李万永 罗毅 韩彦军
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 线偏振LED Al金属光栅 偏振度(PR) 偏振消光比(PER) 纳米压印
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1042-1047
• 页数: 6页
• 分类号: TN312.8
• 语种: 中文

摘要

提出一种准确计算LED偏振度(PR)的方法,并采用纳米压印技术制作了线偏振蓝光LED.方法考虑了LED朗伯型发光,计算整个半平面入射光透过光栅的TM模在TE和TM模中所占百分比.详细分析了光栅材料、光栅周期、占空比和光栅高度等对PR的影响,结果表明,当Al金属光栅周期为150 nm、占空比为0.5和光栅高为120 nm时,PR几乎为1；利用纳米压印技术结合感应耦合等离子刻蚀技术,制作了铝金属光栅.实际测试结果表明,将蓝光LED的偏振消光比(PER)由1.0∶1.0大幅度提高为2.2∶1.0.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩彦军		14	127	5.0	11.0
2	罗毅		38	223	8.0	14.0
3	李万永		1	0	0.0	0.0