基于响应曲面法的激光透射连接硅与玻璃的工艺研究

• 作者: 严长 刘会霞 李品 王霄 蒋涛 薛国春 高阳阳
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光透射连接 响应曲面法 硅 玻璃 工艺参数优化
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 76-85
• 页数: 10页
• 分类号: TG456.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0303004

摘要

采用Nd∶YAG脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验.阐述了激光透射连接硅与玻璃的连接机理.采用旋转中心复合设计进行实验规划,使用响应曲面法(RSM)建立了激光透射连接工艺参数与剪切强度、熔池宽度的数学模型,进行了方差分析、实验模型的验证,讨论了激光透射连接工艺参数对剪切强度、熔池宽度的交互影响趋势,运用满意度函数对工艺参数进行优化,并对优化结果进行验证.结果表明,所建立的模型能够较好地反映各响应与工艺参数之间的关系,优化的预测结果与验证实验的结果较为吻合,对提高连接质量和降低生产成本具有很好的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王霄		148	1475	23.0	31.0
2	刘会霞		139	1204	20.0	28.0
3	李品		30	146	6.0	12.0
4	严长		7	0	0.0	0.0
5	高阳阳		4	0	0.0	0.0
6	蒋涛		7	20	3.0	4.0
7	薛国春		2	0	0.0	0.0