微机械圆盘谐振器的结构分析

• 作者: 刘畅 林杰 王建艳 郭建来 郭航
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械圆盘谐振器 集总参数模型 有限元 锚点 品质因子 高阶谐振模式
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 506-511
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 3358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6043/j.issn.0438-0479.2013.04.013

摘要

运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率,同时也降低了微加工精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭航	厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院	34	112	6.0	8.0
2	林杰	厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院	9	268	4.0	9.0
3	王建艳	厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院	3	10	2.0	3.0
4	刘畅	厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院	15	25	3.0	4.0
5	郭建来	厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院	2	4	1.0	2.0