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摘要:
运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率,同时也降低了微加工精度的要求.
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文献信息
篇名 微机械圆盘谐振器的结构分析
来源期刊 厦门大学学报(自然科学版) 学科 工学
关键词 微机械圆盘谐振器 集总参数模型 有限元 锚点 品质因子 高阶谐振模式
年,卷(期) 2013,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 506-511
页数 6页 分类号 TH703
字数 3358字 语种 中文
DOI 10.6043/j.issn.0438-0479.2013.04.013
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郭航 厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院 34 112 6.0 8.0
2 林杰 厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院 9 268 4.0 9.0
3 王建艳 厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院 3 10 2.0 3.0
4 刘畅 厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院 15 25 3.0 4.0
5 郭建来 厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院 2 4 1.0 2.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
微机械圆盘谐振器
集总参数模型
有限元
锚点
品质因子
高阶谐振模式
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
厦门大学学报(自然科学版)
双月刊
0438-0479
35-1070/N
大16开
福建省厦门市厦门大学囊萤楼218-221室
34-8
1931
chi
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7
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