溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的结构及特性研究

• 作者: 何琼 孙自强 敖天宏 温粤江 蒋亚东 许向东 马春前 黄锐
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒薄膜 溶胶-凝胶 退火
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与方法
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TN213
• 字数: 3144字
• 语种: 中文

摘要

利用溶胶-凝胶法制备了氧化钒薄膜,在大气环境及400℃下、对产物进行不同时间的退火处理.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性等进行了系统的分析.结果表明,退火时间明显地影响溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的化学结构及光电性能:退火时间过短,薄膜中有机成分不能完全分解、并且结晶度低；退火1h时,薄膜主要成分为V2 O5和VO2,此时薄膜电阻低、但光吸收性弱；退火2h以上,薄膜中的主要成分为V2O5,此时薄膜电阻变大、但光吸收性有所加强.研究了退火时间对溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜的化学结构及光电特性的影响,揭示了相关的微观机理.