应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现

• 作者: 张俊峰 朱小毅 李建飞 王晓蕾 薛兵
• 来源期刊: 地震地磁观测与研究
• 关键词: 恒温系统 MEMS加速度计 零点漂移 低功耗
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 观测技术
• 页码范围: 205-211
• 页数: 7页
• 字数: 4550字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3246.2013.01/02.039

摘要

介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标.小型恒温系统采用独特工艺,实现简单；恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗.实验结果表明,应用该系统的MEMS加速度计,由温度所引起的零点漂移值明显减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓蕾	中国北京100036 中国地震局地震预测研究所	4	10	2.0	3.0
2	薛兵	中国北京100036 中国地震局地震预测研究所	10	33	3.0	5.0
3	朱小毅	中国北京100036 中国地震局地震预测研究所	10	31	3.0	5.0
4	李建飞	中国北京100036 中国地震局地震预测研究所	3	10	2.0	3.0
5	张俊峰		1	3	1.0	1.0