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MEMS技术现状与发展前景
MEMS技术现状与发展前景
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摘要：
介绍了微电子机械系统(M EM S)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合M EM S 材料与加工技术，讨论了MEMS 产品的封装技术及存在的问题，展望了MEMS 技术的发展前景。
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期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
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10002
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