溶液环境中利用声学、磁力、光热和静电力驱动微悬臂的动力学分析比较

• 作者: 张金金 李林 沈轶 胡钧
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 悬臂振动 磁力 静电力 声学 光热
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 核物理与交叉学科研究
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: TL99|Q6-3
• 字数: 4247字
• 语种: 中文

摘要

原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)是用来获得样品表面微观信息的重要工具,在液相下振动模式中(Dynamic mode)悬臂振动参数如品质因子Q、振动频谱响应等对能否稳定成像及精确测量起着关键性作用.目前最普遍的驱动方式是声学振动-用压电陶瓷来间接驱动悬臂振动,然而此方法固定悬臂的液体槽和水溶液的耦合作用会产生杂峰,从而影响悬臂正常工作,降低成像品质.因此研究者们发展了各种不同的方法来直接对悬臂进行驱动.本文综合现有的利用声学、磁力、光热和静电力等不同的微悬臂驱动方法,分析、比较这几种方法所产生的振幅和相位响应及应用于振动模式AFM中的优劣,可为研制更高分辨率的AFM提供参考.