气相法制备ZnS薄膜材料研究进展

• 作者: 卓雯 张仁刚 徐千山 陈克亮
• 来源期刊: 化工时刊
• 关键词: ZnS薄膜 气相沉积 应用
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 论文综述
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 字数: 4303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-154X.2013.04.010

摘要

综述了近几年ZnS薄膜材料的气相沉积制备方法及其应用,主要讨论了真空蒸发、磁控溅射、脉冲激光沉积、分子束外延、金属有机物化学气相沉积、原子层沉积等制备方法的最新研究进展,指出了ZnS薄膜的各种气相沉积方法的优点和不足以及今后的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张仁刚	武汉科技大学应用物理系	8	17	3.0	3.0
2	卓雯	武汉科技大学应用物理系	5	13	2.0	3.0
3	陈克亮	武汉科技大学应用物理系	7	9	2.0	2.0
4	徐千山	武汉科技大学应用物理系	3	7	2.0	2.0