集成电路工艺化学品标准体系探讨

• 作者: 付雪涛
• 来源期刊: 信息技术与标准化
• 关键词: 化学品 集成电路 标准体系
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 电子化学品管控和标准化专题
• 页码范围: 29-32,36
• 页数: 5页
• 字数: 3560字
• 语种: 中文

摘要

通过介绍化学品在集成电路工艺中的应用和我国集成电路工艺化学品产业现状,重点阐述了集成电路工艺化学品标准化进展,并提出了集成电路工艺化学品标准体系框架.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付雪涛	全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组	4	4	1.0	2.0