光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构

• 作者: 巩岩 赵磊 赵阳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1425-1433
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.7|TH74
• 字数: 2432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132106.1425

摘要

针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证.首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理.然后,用柔性铰链代替传统铰链完成了该机构的结构设计,并对该机构的运动方向刚度、位移输入-输出比以及固有频率和阵型等进行了仿真分析.分析结果表明:该机构X,y方向的刚度值为1.99 μm/N和1.96 μm/N,X,y方向的位移输入-输出比值分别为-2.5和-2.56,机构X,y方向运动的原理误差分别为实际量的8.22％和6.68％.最后,将研制的X-Y微动调整机构用于光刻投影物镜验证模型中,给出了X-Y调整机构补偿前后的系统波像差.结果显示:模型补偿前后的系统波像差RMS分别为50.864 nm和25.933 nm.由此表明,本文设计的柔性微动调整机构补偿效果明显,能够满足光刻投影物镜高精度X-Y调整补偿要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	72	423	13.0	17.0
2	赵阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	32	397	12.0	19.0
3	赵磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	438	12.0	20.0