复合量程微加速度计封装的设计仿真与测试

• 作者: 郭涛 闫明明 鲍爱达
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复合量程微加速度计 MEMS 封装 ANSYS 仿真
• 年，卷（期）: 2013,（34）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 10150-10154
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.3|TP212
• 字数: 2991字
• 语种: 中文

摘要

针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案.理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装.仿真分析主要通过ANSYS软件进行复合量程加速度计热应力仿真,确定了复合量程加速度计的陶瓷封装管壳的厚度.通过静态特性测试及动态特性测试等进一步验证了该封装结构具有抗过载能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	86	454	11.0	15.0
2	闫明明	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	9	32	3.0	5.0
3	鲍爱达	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	17	90	5.0	9.0