单纯型优化法在CO2激光钻盲孔工艺参数中的应用研究

• 作者: 何为 俊锋 冯立江 徐缓 李晓蔚 郭茂桂 陈世金 陈际达
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 单纯型法 效应分析 CO2激光 微盲孔
• 年，卷（期）: 2013,（z1）
• 所属期刊栏目: 钻孔与机械加工
• 页码范围: 70-75
• 页数: 6页
• 分类号: TN41
• 字数: 3826字
• 语种: 中文

摘要

文章应用单纯型法，对CO2激光制作孔径为100μm的盲孔参数进行优化。以盲孔的真圆度和上下孔径比为优化目标函数，经优化过程获得最佳工艺参数，并对最佳工艺参数进行实验验证。根据水平效应关系对影响CO2激光钻孔的因素进行效应分析，从而确定因素之间的主次关系。结果表明，最佳工艺参数为：脉宽13.8μs，脉冲能量14.8 mJ，脉冲次数2，光圈（Mask）2.2 mm，所得盲孔孔型最好，真圆度达到99.32%，上下孔径比为82.36%。对真圆度影响的主次关系是：脉冲能量>脉冲宽度>脉冲次数>Mask；对上下孔径比影响的主次关系是：Mask>脉冲能量>脉冲宽度>脉冲次数。该方法得到的最佳工艺参数能够为实际生产提供参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何为	电子科技大学微电子与固体电子学院	200	994	12.0	23.0
2	陈际达	重庆大学化学与化工学院	36	262	7.0	15.0
3	陈世金		79	203	7.0	11.0
4	徐缓		41	148	6.0	10.0
5	郭茂桂		13	31	3.0	5.0
6	李晓蔚	重庆大学化学与化工学院	2	4	1.0	2.0
7	冯立江	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	3	1.0	1.0
8	俊锋	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	3	1.0	1.0