一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法及实验研究

• 作者: 刘恒 周吴 孟瑞丽 张宏群 李宏升 范江棋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械结构 振动幅度 单边带比 频谱
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1686-1690
• 页数: 5页
• 分类号: TN911.71
• 字数: 4393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.12.012

摘要

针对硅微机械结构振动幅度由于封装难以计算机视觉测量及电学测量中的精度受接口电路参数影响的问题,在对静电梳齿驱动、平板电容检测的硅微谐振结构进行建模分析后,提出基于单边带电压比的电学测量振动幅度的方法并分析了测量方法的原理。实验表明研制的某硅微机械谐振加速度计在受迫振动下的振动幅度为0.25μm,频谱分析还表明存在上电噪声引起的振动幅度,该测试方法还能应用于硅微谐振结构的谐振频率测量,同时为高品质因数的硅微机械谐振结构的可静电自激驱动提供了依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宏群	南京信息工程大学电子与信息工程学院	23	140	6.0	11.0
2	刘恒	南京信息工程大学电子与信息工程学院	31	75	4.0	6.0
3	孟瑞丽	南京信息工程大学电子与信息工程学院	13	36	3.0	5.0
7	周吴	电子科技大学机械电子工程学院	10	16	3.0	3.0
8	范江棋	南京信息工程大学电子与信息工程学院	4	15	2.0	3.0
9	李宏升		1	1	1.0	1.0