微电子学中的化学

• 作者: 杨盈莹
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子学 电化学 集成电路工艺 边缘学科 器件物理 纳米器件 专业知识 生物化学
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 8-9
• 页数: 2页
• 分类号: TN4

摘要

微电子学是一门综合性很强的边缘学科，包括了半导体器件物理、集成电路工艺和集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容。要制备和研究微电子学的复杂纳米器件，需要许多学科共同协作，不仅涉及到电子学、物理学、光学、力学这些领域，也需要化学、电化学、生物学、生物化学和医学这些专业知识。微电子学近年来随着集成电路，

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨盈莹	中国科学院半导体研究所	89	10	2.0	3.0