国内多晶硅冷氢化技术应用研究

• 作者: 吴建波 张正国 欧昌洪 陈广普 龚波林
• 来源期刊: 化工技术与开发
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 冷氢化 应用研究
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 28-30
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2955字
• 语种: 中文

摘要

重点介绍了多晶硅生产中冷氢化技术的发展历程和基本原理,对冷氢化技术进行了详细的阐述,列出了目前国内企业应用冷氢化技术后表现出的较优的技术、经济指标.同时,还比较了冷氢化、热氢化技术的优缺点,分析了当前国内冷氢化技术在应用上面临的问题及解决办法,并指出了未来冷氢化技术的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚波林	宁夏大学化学化工学院	70	416	10.0	15.0
2	吴建波	宁夏大学化学化工学院	8	63	4.0	7.0
3	欧昌洪		3	22	1.0	3.0
4	张正国		1	22	1.0	1.0
5	陈广普		1	22	1.0	1.0