压电旋转驱动器制作及性能测试

• 作者: 张忠华 曾平 温建明 程光明 阚君武 马继杰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 旋转驱动器 压电叠堆 惯性驱动
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 131-136
• 页数: 6页
• 分类号: TM384|TH703.8
• 字数: 2520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132101.0131

摘要

提出了通过控制正压力来改变摩擦力的方案,进而研制了一种以压电叠堆为动力转换元件的新型压电旋转驱动器.采用两个驱动用压电叠堆对称布置的方式设计了该旋转驱动器结构,探讨了旋转驱动器运动机理,制作了压电旋转驱动器试验样机并对其进行了试验测试.试验结果表明,该驱动器输出步长线性度较好,当驱动电压为10 V、频率为2Hz时,驱动器旋转步长为20 μrad.分析了驱动器输出稳定性,针对存在的问题提出通过施加控制系统来有效提高不同起始位置驱动器的运动稳定性.对试验结果进行误差分析,找出了产生误差的原因,为驱动器的进一步优化设计提供了参考.研究证明了该压电旋转驱动器设计方法的可行性,利用该方法可以制作出结构简单,体积小,适合在微驱动领域中应用的驱动器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张忠华	浙江师范大学精密机械研究所	27	187	8.0	13.0
2	程光明	浙江师范大学精密机械研究所	52	317	8.0	14.0
3	阚君武	浙江师范大学精密机械研究所	50	299	9.0	14.0
4	曾平	浙江师范大学精密机械研究所	20	145	7.0	11.0
5	温建明	浙江师范大学精密机械研究所	25	139	7.0	9.0
6	马继杰	浙江师范大学精密机械研究所	19	111	5.0	10.0