基于有限Radon变换的MEMS结构方向提取

• 作者: 刘晓军 卢文龙 王生怀 邹星龙
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 有限Radon变换 微机电系统 微结构 方向 提取
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 68-70
• 分类号: TH741.3
• 语种: 中文

摘要

提出一种基于有限Radon变换(FRAT)的MEMS结构特征方向提取方法.首先,将MEMS表面数据转换为二维数据矩阵,并将矩阵延展成素数大小的方阵;然后,对延展后的数据沿着特定的方向进行投影变换和点积分运算,得到结果矩阵;最后,将结果矩阵用灰度图显示,根据图像中的0灰度值的像素点所在的行列得到原始表面中的主要方向.通过对MEMS器件沟槽结构的模拟分析以及对MEMS器件沟槽和柱状阵列结构的实验分析,验证了该方法的有效性.实验结果表明该方法方向提取误差小于1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
2	卢文龙	华中科技大学机械科学与工程学院	16	45	3.0	6.0
3	王生怀	华中科技大学机械科学与工程学院	13	72	5.0	8.0
4	邹星龙	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	3	2	1.0	1.0