面积阵列焊球快速制备技术与装置

• 作者: 张鸿海 曹澍 舒霞云 魏行方
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 封装 焊料 液滴成型 快速制备 按需喷射 气动喷射装置
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 6-10
• 分类号: TH16
• 语种: 中文

摘要

为实现面积阵列封装中焊料凸点阵列的快速制备,提出了一种气动膜片活塞式熔融焊料微滴按需喷射装置.该装置利用微滴按需喷射技术对焊料液滴体积与沉积位置的高精度控制,实现直接植球功能.实验研究了装置各参数对液滴形成的影响,并通过单喷嘴按需逐点喷射直接在铜基板表面制作了5×7 Sn63 Pb37焊球阵列.此外,实验通过3×3阵列孔喷嘴并行喷射在硅基板上制作了3×3焊料凸点阵列.结果表明:气动膜片活塞式微滴喷射装置能实现大小均匀、尺寸和定位精度可控的焊球面积阵列的快速制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鸿海	华中科技大学机械科学与工程学院	68	430	11.0	16.0
5	曹澍	华中科技大学机械科学与工程学院	7	71	5.0	7.0
9	舒霞云	华中科技大学机械科学与工程学院	14	73	5.0	8.0
10	魏行方	华中科技大学机械科学与工程学院	1	1	1.0	1.0