晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法

• 作者: 吴立辉 张洁
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 自动化物料运输系统 建模 扩展Markov模型
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 数字化制造技术
• 页码范围: 2043-2049
• 页数: 7页
• 分类号: TH166
• 字数: 4712字
• 语种: 中文

摘要

为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸.采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿真分析方法比较.结果表明,扩展Markov模型与仿真模型在自动化物料搬运系统搬运量、运输小车利用率和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值为96％,处于[-8％,10％]的区间范围；与仿真模型相比,扩展Markov模型的性能分析效率提高了600倍以上.由此验证了所提扩展Markov模型建模方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	上海交通大学机械与动力工程学院	187	1538	20.0	32.0
2	吴立辉	河南工业大学机电工程学院	39	133	6.0	9.0